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                              精密仪器系统洁净工程解决方案

                              一工程概况

                              该微电子工厂主要?#37038;?#33455;片的设计开发制造销售和技术服务新主厂房建成投产后集成电路生产技术水平从现在的12微米提升到08微米厂区包括主厂房化学品库动力厂房行政办公楼?#21462;?#20027;厂房为三层建筑从下至上依次为动力下技术夹层洁净下技术夹层洁净室其中洁净室面积约为5000m 洁净等级分为ISO 6级(1000级)和ISO 7级(10000级)

                              二空调系统设计

                              2.1 空调负荷

                              实际设计中洁净室内冷负荷的计算一般采用估算的方法根据其生产工艺情况围护结构操作人员数量等?#33539;?#20272;算指标该洁净室的主生产区冷负荷估算指标为450Wm 光刻区为400Wm 其它区域根据功能为250Wm 一350Wm 设计总冷负荷(包含新风冷负荷)为13400kW单位冷负荷指标为2500Wm 远远大于一般建筑的冷负荷指标这是由于

                              1微电子工业洁净室的生产设备发热量大消耗冷量大

                              2为补充大量工艺排风(排除酸性碱性有机溶剂等气体)及为维持洁净室正压而造成新风量大处理新风所需冷量大以上两项负荷之和一般占到总冷负荷的80 以上

                              由于洁净室处于内区围护结构的冷热负荷影响可以忽略不计设?#21697;?#28909;量大冬季仍为制冷工况其室内冷负荷与夏?#20928;?#26412;相同洁净室内散湿量较少故洁净室室内负荷以显热负荷(设备负荷?#24432;?#36127;荷)为主

                              2.2 气流组织方式

                              洁净室内的气流流型为垂直单向流即空气由吊顶?#31995;?#39118;机过滤单元机组(FFU)所带的高效过滤器进行过滤处理达到洁净要求后送入室内再经过地面带孔高架地板和华夫楼板通过两侧回风竖井与新风机组处理过的新风混合后经安装在竖井与吊顶静压箱之间的干式冷盘管冷却回到吊顶静压箱虽?#29615;?#26426;过滤单元机组(FFU)的送风模式未必对每个洁净厂房和生产工艺都最为适合但近年来它以其本身的优越特性正被越来越多的广泛采用

                              首先洁净室内压力高于静压箱内的压力不存在尘粒由静压箱渗透到室内的可能性即所谓?#26696;?#21387;密封?#20445;?#32780;其它送风模式例如分散式循环风机封等较为复杂的方法来保证洁净室顶棚的密封性

                              其次由于微电子工业洁净室工艺的频繁更新和调整可以通过增减局部区域的风机过滤单元机组(FFU)的数量来改变洁净度以适应生产工艺流程的需要如今生产线上大量采用微环境装置高效过滤器满布?#24335;?#20302;到30 以下风机过滤单元机组(FFU)因其布置的灵活性具有更强的竞争力

                              另外由于对层高和空间需求较少降低了建筑成本和施工周期也很适合用于改建项目但大量风机过滤单元机组安装在吊顶上所带来的缺点也是显而易见的噪声和振动对洁净室的影响不容忽视设备和自控成本的增加也必须要考虑

                              2.3 空气处理

                              洁净室新风系统共配有四台新风机组三用一备?#21051;?#26032;风处理机组新风量为1300001"1"1 h新风全部在屋面?#31995;?#26032;风小屋采集接入新风机组处理后再通过风管直接送到洁净?#19994;?#39030;?#31995;?#38745;压箱与洁净?#19968;?#39118;混合后再送入室内

                              新风量?#33539;?#20027;要依据以下几个因素

                              1)补充工艺过程上所需的排风量包括一般排风酸性排风碱性排风有机溶剂排风特种气体排风等

                              2)保证洁净室内相对于外界为正压以确保室外空气不会渗入污染洁净室

                              3)满足室内人员卫生要求所需的新风量?#21496;?#26032;风量不小于40m h

                              设计新风量取补充室内排风及保?#36136;?#20869;正压所需新风量之和与人员新风量两项中的最大值新风机组包含的组段有初效过滤段中效过滤段预热段预冷段?#37038;?#27573;再冷段再热段风机段预留段高效过滤段和送风段等(见图3)其中预冷盘管的供回水温度为l3 oC19oC再冷和盘管的供回水温度为5棯106~C预热盘管的供回水温度90~C6ocC再热盘管的供回水温度为9OoC70oC洁净室新风系统承担所有的室内湿负荷 而室内湿热负荷则由于式冷盘管承担室外新风须处理到机器露点后送入回风夹道与回风混合

                              在夏季高温高湿的地区由于室外?#25163;到?#22823;新风机组需进行大焓差处理如只设一级冷盘管那大量的冷量都将被冷凝水带走故为了充分利用冷水能量新风机组设置两级冷盘管在夏季室外空气被供l3 中温水的第一级预冷盘管处理到接近饱和状态点A再由供5~C低温冷水的第二级冷盘管处理到露点B最后通过再热盘管将其加热到送风状态点c而在冬季室外空气先通过预热盘管加热到D点后再由水喷淋?#37038;?#21040;露点B后加热到送风状态点C

                              水喷淋?#37038;?#27573;位于两级冷盘管之间除了?#37038;?#22806;还可起到清洁空气的作用在夏季工况下空气经过一级冷盘管处理到A点后已达饱和状态很?#35328;?#34987;?#37038;?#25925;水喷淋对夏季新风处理不会产生影响

                              安装在回风夹道和吊顶静压箱之间的干式冷盘管的作用是去除室内显热负荷供回水温度为13~C和19档千式冷盘管包括钢制槽形镀锌框架铜质管道及带传热涂层的铝质散热片每个尺寸为2400mnl2165mm处理风量约为33000m h面风速控制在2ms以下冷量约为222kW干式冷盘管前设?#26377;?#36719;管及球阀与供回水管道连接采用干式冷盘管的?#35834;?#22312;于系统运行在干工况条件下杜绝了水患

                              2.4 自动控制

                              2.41 压差控制

                              洁净室与周围的空间必须维持一定的静压差其目的是为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时洁净室的洁净度免受邻室污?#20928;?#27745;染邻室压差风量的?#33539;?#19968;般采用房问换气?#38382;?#20272;算并与洁净室围护结构的气密?#32422;?#32500;持的压差值有关

                              本工程洁净室的维持正压的换气?#38382;?#21462;15h在洁净室装有压差传感器洁净室的压力根据压差传感器的数值来控制它将测量洁净室和外界大气的压差PLC使用压差传感器的值作为PID的过程值它的输出将控制新风管道?#31995;?#21464;风量控制(VAVBox)开度(见图5)PLC同时计算在主新风管道?#31995;?#21387;差传感器平均值并用平均值作为PID的过程值它的输出将控制新风机组的风机速度以达到洁净室内的正压要求

                              2.42 温湿度控制

                              洁净?#20381;?#30340;温度是由吊顶?#31995;?#24178;冷盘管进行调节控制的吊顶内共分为10个温度控制区域每个温度控制区域都设有一个温?#21364;?#24863;器?#20204;?#22495;的干冷盘管回水主管上装有一组电动调节阀通过温?#21364;?#24863;器所测的温度与直?#37038;?#23383;温控器的设定?#24403;?#36739;用比例积分微分控制器输出电信号控制回水管?#31995;?#21160;调节阀的开?#21462;?#25913;变水流量使洁净室的温度保持在所需的范围

                              洁净室内安装有温湿?#21364;?#24863;器从洁净室温湿?#21364;?#24863;器传来的温度信号将被PLC用来监视和报警新风机组送风温度信号作为温度PID控制的过程值(PV)PID输出将用来控制再?#30830;?#32500;?#20013;?#39118;机组恒定的出风温?#21462;?#26032;风机组的?#37038;?#21943;淋段水泵都有一液位开关当低液位报警时PLC将停止相关的泵

                              三排风系统

                              微电子洁净室中常常在产品生产过程中使用或产生各种酸性?#22270;?#24615;物质有机溶剂和一般气体特种气体且根据GB500732001洁净厂房设计规范中的规定排风系统应单独设置故洁净室的工艺排风分别设有酸性排风系统碱性排风系统和溶剂排风系统 酸碱排风气体必须分别经过玻璃?#33267;?#27927;塔处理后才能排至室外淋洗塔以化学吸收为工作原理其中有填?#26174;?#21152;其有效吸?#24432;?#31215;淋洗液由喷嘴自上而下喷洒并可循环使用

                              洁净室内酸碱排风的风管材料为不锈钢内涂特氟隆以达到防腐蚀的目的风机采用玻璃钢离心变频风机洁净室为无外窗的房间房间密?#25307;?#36739;好故设置机械排烟系统是保证人员安全疏散的必要方法GB500732001(洁净厂房设计规范规定洁净厂房疏散走廊应设置机械防排烟设施而国家?#20013;?#38450;火规范中对工业厂房的排烟设置未作出明文规定故参考民用建筑的防排烟规范在洁净室内设置机械排烟系统因主生产区面积达3000m 故用挡烟垂壁(吊顶以下500ram高)将主生产区分隔为数个防烟分区每个防烟分区最大面积不大于500m 防烟分区的排烟量设计值以每个分区60m h?m 计算排烟风机可同时负担两个防烟分区风量选型按最大防烟分区面积?#31185;?#26041;米120mh计算防烟分区的排烟由支管?#31995;?80排烟阀控制

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